半導體精密加工，加工要求高，而日本NAKANISHI高速氣浮主軸 ABT-1600，其轉速高達160000轉/min，精度在1um以內，徑向可承受高達10N以下，軸向可承受高達20N以下,很符合加工需求，所以是比較常用于半導體研磨高光加工。

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