電容基片厚度0.3um用什么測厚儀器來測量？

這么小的數值，就要使用高精度的測厚儀，日本三豐測厚儀 318-226DC，測量范 圍為0-50mm，分辨力可切換：0.01/0.1、1.0um,是可以達到測量要求的。

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