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晶圓體高光加工，160000轉高速氣浮主軸高精度達到加工效果

返回列表 來源：發布日期： 2024.07.25

半導體晶圓體需要進行加工，有些使用轉速低、精度低的加工工具，加工出來，會看到刀紋，那如何才能一次性加工而沒有刀紋？可使用160000轉/min的NAKANISHI高速氣浮主軸，精度在1um以內，且剛性強。

高速氣浮主軸高光加工

　　晶圓體精密工件，所以加工需要一次性加工而成，所以對于加工的工具要求高，其需要剛性強，高轉速、高精度，缺了都達不到加工效果，而日本NAKANISHI中西高速氣浮主軸ABT-1600，其轉速高達160000轉/min，精度在1um以內，徑向可承受力10N以下，軸向可承受20N以下，剛性強，所以這款是適合半導體高光加工，一次性達到加工效果。

ABT-1600氣浮主軸

ABT-1000高速氣浮主軸

　　NAKANISHI高速氣浮主軸，其內含多顆軸承，且雙向都可以受力，其剛性是比較強的，且轉速160000轉/min，功率63W，精度更是在1um以內，其特點就是高轉速、高精度、剛性強，常用于半導體加工行業。

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本文標簽：高速氣浮主軸ABT-1600

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