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眾所周知，半導體生產(chǎn)工藝復雜，光是生產(chǎn)半導體的機器設備上的零部件都有成千上萬個，小編今天就帶來其中一個零件的生產(chǎn)工藝—NAKANISHI高速主軸對軸的內(nèi)徑打磨。
用于半導體生產(chǎn)機器的軸
材質: SUJ2 (軸承鋼）
軸的孔內(nèi)徑：3.306±0.003
打磨工具要求：
高精度：精度要在6μm以內(nèi)，如果主軸打磨時精度跳動很大，要保證在精度內(nèi)的精密打磨需要時間。
NAKANISHI高速主軸EMS-3060K剛好適合此類軸的打磨
NAKANISHI高速主軸EMS-3060K在保證表面打磨效果前提下，轉速可從50,000 min?1 提高到60,000 min?1。精度1 ?內(nèi), 能實現(xiàn)精密加工，并可延長刀具使用壽命.
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