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松本機電新聞資訊
半導體晶圓材質脆，微切削高速氣浮主軸精磨加工
返回列表 來源： 發布日期： 2024.07.29
     半導體晶圓硅片，需要在上面進行高光、銑削加工，這個材質脆，多少大扭矩主軸容易損壞，所以要求加工的工具轉速高、精度高，進行精磨加工，而日本中西NAKANISHI高速氣浮主軸 ABT-1600，其轉速160000轉/min，精度在1um以內，是符合加工需求的。

半導體工件加工

高速氣浮主軸高光加工

　　材質脆的需要一次性加工而成，所以有些轉速低的主軸，加工出來的表面光潔度不好，還高低不平的，其精度也達不到要求，所以需要使用高轉速、高精度的日本NAKANISHI高速氣浮主軸，主軸跳動精度在1um以內，轉速能達到160000轉/min，高速、高精度的銑削，表面效果好，能一次性加工完成。

ABT-1000高速氣浮主軸

ABT-1600氣浮主軸

　　日本NAKANISHI中西高速氣浮主軸 ，且雙向承受力，徑向可承受10N以下，軸向可承受20N以下，剛性強，是常用于半導體加工行業的，用于高光、銑槽、銑削加工等，都能達到加工效果。

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